一种显影液回收系统

基本信息

申请号 CN202122589532.1 申请日 -
公开(公告)号 CN216604242U 公开(公告)日 2022-05-27
申请公布号 CN216604242U 申请公布日 2022-05-27
分类号 B01D29/05(2006.01)I;B01D29/50(2006.01)I;B01D36/04(2006.01)I;B01D35/16(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 张佳;王伟振;胡新星;文李春;王建平 申请(专利权)人 景旺电子科技(珠海)有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 519000广东省珠海市金湾区南水镇南水大道801号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请属于印制电路板设备领域,尤其涉及一种显影液回收系统,包括具有药水槽且用于容纳显影液的药水箱和与药水槽连通且用于过滤显影液的过滤组件,药水槽的槽底具有水平高度低于其余侧边的排液侧,过滤组件具有连接于排液侧且用于供显影液排出药水槽的排液管,以及用于将过滤后的显影液排入至药水槽内的进液管。本申请提供的显影液回收系统,其药水槽的槽底具有水平高度低于其余侧边的排液侧,未能溶解的杂质会在重力的作用下,朝药水槽的排液侧位置聚集,并通过连接于排液侧的排液管随显影液排入过滤组件中,显影液中夹杂的无法溶解的杂质也不会大量沉积在药水槽的槽底,有效减低药水槽的清理难度,同时也能够减少药水箱的清理、维护频率。