一种金属剥离胶组合物在光刻工艺中的应用
基本信息
| 申请号 | CN202011396352.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112526824A | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN112526824A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | C08F220/14(2006.01)I;C08F216/04(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;C08F220/22(2006.01)I;C08F222/40(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 许箭;秦龙;耿文练;花雷 | 申请（专利权）人 | 儒芯微电子材料（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海剑秋知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨飞 |
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1295号2幢305室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种金属剥离胶组合物在光刻工艺中的应用，所述金属剥离胶组合物作为碱溶牺牲层应用在金属剥离工艺中，其上层可兼容光刻胶，所述光刻胶选自G线、I线光刻胶、248nm光刻胶、193nm光刻胶、极紫外光刻胶、纳米压印光刻胶或电子束光刻胶。 |
