电子束光刻胶组合物及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810383600.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108628101A | 公开（公告）日 | 2018-10-09 |
| 申请公布号 | CN108628101A | 申请公布日 | 2018-10-09 |
| 分类号 | G03F7/039 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 秦龙;许箭;袁华;曾霞;刘晓华;汪武平;耿文练;花雷 | 申请（专利权）人 | 儒芯微电子材料（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海智晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 儒芯微电子材料（上海）有限公司 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区泥城镇云汉路979号2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种电子束光刻胶组合物，其主要成分包括卤代丙烯酸酯共聚物和光致产酸剂，所述卤代丙烯酸酯共聚物为卤代丙烯酸酯单体单元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯类单体单元的共聚物。通过引入侧链取代的卤族原子及刚性的芳香环，并选取了合适的单体单元的组合，本发明组合物中的共聚物具有较高的灵敏度和抗蚀性能。此外，本发明组合物中还具有光致产酸剂，能够加速组合物中的共聚物的裂解，有效提高了曝光效率，进一步提高了光刻胶的灵敏度。 |
