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一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法

基本信息

申请号 CN201510911534.4 申请日 -
公开（公告）号 CN105551948B 公开（公告）日 2018-05-15
申请公布号 CN105551948B 申请公布日 2018-05-15
分类号 H01L21/223;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 郝杰杰;刘仁中;张斌 申请（专利权）人 合肥海润光伏科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） 代理人 合肥海润光伏科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站综合开发实验区大禹路1288号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法，它包括：进气管、排气管、流量监控表和开孔，所述的进气管位于石英舟的下方，进气管的两端分别为开口端和封闭端，进气管的开口端上设有流量监控表，进气管上设有的开孔面对扩散石英管的底部，进气管的封闭端置于扩散石英管内，排气管位于硅片的上方,提高石英管内气体氛围的均匀性，提高了电池片片间及片内扩散均匀性。使得后续工艺参数可控性高，可以较好的保证电池性能和参数的稳定性。盖方法提高石英管内气体氛围的均匀性，提高了电池片片间及片内扩散均匀性。使得后续工艺参数可控性高，可以较好的保证电池性能和参数的稳定性。