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一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架

基本信息

申请号 CN201720771056.6 申请日 -
公开（公告）号 CN207338411U 公开（公告）日 2018-05-08
申请公布号 CN207338411U 申请公布日 2018-05-08
分类号 H01L31/18;F16M13/02 分类 基本电气元件;
发明人 张衡;蒋万昌;郭梦龙;王海超 申请（专利权）人 合肥海润光伏科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 合肥海润光伏科技有限公司;太仓海润太阳能有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站综合开发实验区大禹路1288号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，包括能够搁置在所述扩散炉的恒温槽上的板状架体，所述架体上设有用于观察所述恒温槽内液位的观察孔、添加/抽放所述恒温槽内液体的进出液口、一个或多个能够容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。本实用新型利用容置槽搁置三氯氧磷源瓶，避免源瓶倾斜，保证扩散效果，增加了扩散工序的安全性；利用容置槽搁置三氯氧磷源瓶，阻止三氯氧磷源瓶与水直接接触，当源瓶意外破裂时不至于与水发生反应，保证安全；观察孔方便日常检查、观察恒温槽内液位；进出液口方便抽放恒温槽内液体或向恒温槽内添加新液；另外，观察孔与进出液口可兼做提手使用，方便安装拆卸该支架。