一种用多晶硅切片硅粉生产四氯化硅的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910700767.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110357110A | 公开（公告）日 | 2019-10-22 |
| 申请公布号 | CN110357110A | 申请公布日 | 2019-10-22 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 刘长河;薛庆山;韩志强 | 申请（专利权）人 | 锦州中特电炉有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳东大知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李珉 |
| 地址 | 121001 辽宁省锦州市武汉街兴业金典2号楼43号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用多晶硅切片硅粉生产四氯化硅的方法，属于精细化工技术领域；制备方法：(1)将多晶硅切片产生的硅粉，洗去盐分，自然风干；(2)将风干后的硅粉滤饼采用微波干燥；(3)将氯化炉升温，当炉温≥500℃，将硅粉加入，并通入氯气；当氯化炉温度≥1150℃时，同时向炉内加入硅粉、氧化物和石油焦粉，持续通入氯气，控制炉温和床层压力，进行加碳氯化反应，反应过程要连续加料；(4)当床层压力≥15kpa、炉温≤1140℃、且持续时间超过20分钟时，将未反应的物料从排渣管排出，之后继续进料维持连续反应；每小时分析尾气中CO、CO2、Cl2含量，监控炉温及时调整配比，稳定运行可以连续生产四氯化硅。 |
