一种连续相位板加工误差识别方法
基本信息
| 申请号 | CN201410115199.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103886600B | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN103886600B | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | G06T7/00(2006.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 温圣林;颜浩;张远航;侯晶;唐才学;石琦凯;杨春林 | 申请（专利权）人 | 四川睿光科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 史霞 |
| 地址 | 621000 四川省绵阳市科学城绵山路64号（科学城八区十二所系统楼302号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种连续相位板加工误差识别方法，属相位板加工误差识别领域，本发明采用二次匹配，先对被测面形和参考面形进行第一次匹配，得到粗定位的平移位置坐标，然后在根据平移位置坐标设定的邻域范围内对被测面形和参考面形进行第二次匹配，缩小误差范围，得到精确定位位置参数，并根据精确定位位置函数得到加工误差指标，本方法改变一次匹配难以对高精度要求的CPP进行误差识别的缺陷，采用逐步递进精度逐步提高的二次匹配方法提高CPP误差识别的精度，本发明所提供的方法误差识别的RMS值可达30nm以下，PV值可达1波长以下。 |
