一种晶体硅太阳能电池的扩散工艺
基本信息
| 申请号 | CN201810706918.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109103081A | 公开（公告）日 | 2018-12-28 |
| 申请公布号 | CN109103081A | 申请公布日 | 2018-12-28 |
| 分类号 | H01L21/223;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 励小伟;梁海;赖儒丹 | 申请（专利权）人 | 浙江启鑫新能源科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡拥军;糜婧 |
| 地址 | 315613浙江省宁波市象山县经济开发区滨海工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的扩散工艺，包括以下步骤：S1.扩散炉预热并通氮气；S2.进舟，保持扩散炉的温度在750～780℃，同时通氮气；S3.通氧气、氮气，氧气与硅片表面的硅反应生成一层二氧化硅层；S4.第一次沉积三氯氧磷；S5.第二次沉积三氯氧磷，磷源浓度较步骤S4提高；S6.升温扩散推进；S7.高温下，第三次沉积三氯氧磷；S8.高温推进结深；S9.降温退火；S10.退舟。本发明沉积磷时，先低浓度后高浓度升温，采用递增渐变式进行扩散，有利于提高电池片的电性能，减小扩散极差。 |
