一种掩膜版远程检查装置
基本信息
| 申请号 | CN202220449642.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216979583U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216979583U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | G03F1/84（2012.01）I;H04N5/225（2006.01）I;G03B17/56（2021.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张华超;熊启龙 | 申请（专利权）人 | 合肥清溢光电有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种掩膜版远程检查装置，包括实现掩膜版直立固定的立版装置和朝向立版装置设置的可移动相机机构，立版装置包括可调版架和驱动可调版架旋转实现掩膜版翻面的翻面装置；可调版架包括置于直立状的掩膜版底部的版托以及分别置在直立状的掩膜版两侧的固定版夹和移动版夹，移动版夹相对固定版夹移动；可移动相机机构包括CCD高清相机本体和相机安装座，相机安装座包括与CCD高清相机本体连接的水平移动座和连接在水平移动座上的升降座，升降座和水平移动做分别实现CCD高清相机本体在竖直和水平方向上的移动；本实用新型的掩膜版远程检查装置，旨在解决在清洗后，人员对掩膜版进行表面检查时，对掩膜版造成污染和破坏的隐患。 |
