一种用于掩膜版撬膜的放版装置
基本信息
| 申请号 | CN202122613292.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216118383U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216118383U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G03F1/82（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张伟明;李胜;卢东辉;谭超华 | 申请（专利权）人 | 合肥清溢光电有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵娟 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体光刻掩膜版制造技术领域，具体涉及一种用于掩膜版撬膜的放版装置，包括承重框架，所述承重框架呈凹型结构，其侧边以及中部均设置有导轨，所述导轨上滑动设置有支撑件，多个所述支撑件根据所处位置的不同其形状结构也有相应的变化。本实用新型中，本装置为一种无电动气动的机械化装置，结构简单实用，旨在以低成本、易操作的方法实现用于不同尺寸掩膜版撬膜的放版功能，固定轨道能支撑掩膜版的四个端角，滑动轨道能支撑掩膜版的中部，这样掩膜版放上去后更稳定，减少晃动以及偏移，且使得撬膜和擦胶时掩膜版不会松动，降低掩膜版损坏的风险，提高撬膜的效率和品质。 |
