一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法
基本信息
| 申请号 | CN202210205006.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114563916A | 公开（公告）日 | 2022-05-31 |
| 申请公布号 | CN114563916A | 申请公布日 | 2022-05-31 |
| 分类号 | G03F1/84（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王亚腾;熊启龙 | 申请（专利权）人 | 合肥清溢光电有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及掩膜版检查机，具体涉及一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理；待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息；根据参考点的坐标信息与相应的实际点位坐标信息计算补偿值，基于补偿值计算所有图形点位的实际点位坐标信息；将所有图形点位的实际点位坐标信息录入掩膜版检查机；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的掩膜版的寻点设置需要耗费大量时间的缺陷。 |
