一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置
基本信息
| 申请号 | CN202110286373.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113042991A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113042991A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | B23P19/00 | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 叶鸿新 | 申请（专利权）人 | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李洋 |
| 地址 | 250101 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其包括提升机构；提升机构包括驱动件、转动件和滑动件，滑动件能够与静电吸盘固定，转动件能够放置于机台，转动件设有倾斜面，驱动件能够驱动转动件转动并使滑动件相对沿倾斜面向上滑动，以带动静电吸盘向上移动并与机台脱离。该拆装装置能够稳定地拆装静电吸盘，避免静电吸盘滑落并可保证拆装效率。 |
