首页/ 泉芯集成电路制造（济南）有限公司/ 专利详情

一种线宽的测量方法

基本信息

申请号 CN202110264099.6 申请日 -
公开（公告）号 CN113053768A 公开（公告）日 2021-06-29
申请公布号 CN113053768A 申请公布日 2021-06-29
分类号 H01L21/66;H01L23/544 分类 基本电气元件;
发明人 陈庆煌;柯思羽;陈国强;刘志成 申请（专利权）人 泉芯集成电路制造（济南）有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 骆宗力
地址 250101 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种线宽的测量方法，通过将光刻胶层的显影区域图案转移到测试基材上，进而通过对测试基材进行测量即能完成对显示区域进行测量的目的。并且，由于测试基材覆盖光刻胶层且填充光刻胶层的显影区域的部分的热膨胀系数小于光刻胶层的热膨胀系数，测试基材该部分出现受热形变的情况较小，进而在采用电子显微镜采集测试基材上线宽数据时出现尺寸失真的情况有所改善，亦即改善了对光刻胶层的显影区域的线宽进行测量时出现的尺寸失真的情况，保证线宽的测量准确度高。