多结多叠层硅基薄膜太阳能电池及其制造工艺

基本信息

申请号 CN201310588781.6 申请日 -
公开(公告)号 CN103594536B 公开(公告)日 2017-04-19
申请公布号 CN103594536B 申请公布日 2017-04-19
分类号 H01L31/042(2014.01)I;H01L31/076(2012.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张峰;李廷凯;毛炳雪;谭学仕;杨晶晶 申请(专利权)人 湖南共创光伏科技有限公司
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人 马强
地址 421001 湖南省衡阳市雁峰区白沙洲工业园区鸿园路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出了一种多结多叠层硅基薄膜太阳能电池及其制造方法。该方法包括:在镀硅薄膜前对基板进预热处理;在TCO前电极上形成p‑A‑SiC接触层;在p‑A‑SiC接触层上形成p‑A‑SiC窗口层;在p‑A‑SiC缓冲层上形成叠层i‑A‑SiC本征层。本发明采用宽带隙接触层来降低与TCO前电极之间的界面电阻,通过宽带隙窗口层提升顶电池对短波长蓝光的吸收,采用宽带隙缓冲层减少界面壁垒,降低电池的串联电阻及光吸收损失,同时在非晶碳化硅本征层中采用叠层结构,采用梯度式掺杂,形成具有梯度带隙宽度的非晶碳化硅本征层,从而提高电池的短路电流密度及光电转换效率。