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一种薄膜吸附移载装置

基本信息

申请号 CN202021234873.6 申请日 -
公开（公告）号 CN213010716U 公开（公告）日 2021-04-20
申请公布号 CN213010716U 申请公布日 2021-04-20
分类号 B65G47/91(2006.01)I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 尤官京;冯杰;丁进新 申请（专利权）人 深圳市汇创达科技股份有限公司
代理机构 深圳市辉泓专利代理有限公司 代理人 刘海军
地址 518000广东省深圳市宝安区石岩街道爱群路同富裕工业区2-2栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种薄膜吸附移载装置，本实用新型通过将薄膜吸附组件设置在设置于机架上，其中薄膜吸附组件包含底板、吸附底板和吸附面板，吸附底板和吸附面板之间密封连接，吸附底板通过滑杆与底板滑动连接，采用这种方式，吸附组件在下压吸附的过程中能有足够的缓冲余量，能避免对薄膜造成机械损伤；同时，通过在吸附底板和吸附面板之间设置真空腔，真空腔可以通过管道与真空抽气设备连接，并且在吸附面板上设有与真空腔相通的吸附孔，吸附孔可以均匀的设置在吸附面板上，采用这种方式，能对薄膜提供均匀的吸附力。