一种用于真空贯穿的柔性装置
基本信息
| 申请号 | CN202022119299.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213479503U | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN213479503U | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | F16L51/02（2006.01）I;F16L27/12（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 曹桂英 | 申请（专利权）人 | 北京中科科美科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京纽乐康知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张朝元 |
| 地址 | 102206北京市昌平区回龙观镇国际信息产业基地高新二街2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，波纹管的一侧焊接有法兰，波纹管的另一侧焊接法兰盖，波纹管的通道内穿过有贯穿组件，法兰焊接在防护筒内侧壁，法兰盖焊接在防护筒的外侧端口。整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。 |
