一种改变真空通导的装置

基本信息

申请号 CN201922454036.8 申请日 -
公开(公告)号 CN212079565U 公开(公告)日 2020-12-04
申请公布号 CN212079565U 申请公布日 2020-12-04
分类号 F04B39/10(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 曹桂英 申请(专利权)人 北京中科科美科技股份有限公司
代理机构 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京中科科美科技股份有限公司
地址 100096北京市昌平区回龙观镇国际信息产业基地高新二街2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种改变真空通导的装置,包括流速板框架,所述流速板框架中设置有同步转动的挡板组件,所述挡板组件连接有挡板传动轴,所述挡板传动轴连接有电机组件,所述电机组件与所述挡板传动轴之间设置有磁流体组件。本实用新型的结构中,步进电机带动主动挡板组件,通过连杆组件带动从动挡板组件,实现百叶窗挡板组件联动,改变角度,控制步进电机命令信号与真空系统中真空度连锁反馈,实现自动化操作。