一种显影装置
基本信息
| 申请号 | CN202110693788.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113359398A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113359398A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | G03F7/30 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 唐兴友 | 申请（专利权）人 | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 罗超 |
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种显影装置，包括:喷液桩，其上设有至少两个对称分布的显影液雾化喷头和至少两个对称分布的纯水喷头；受液板，围绕喷液桩设置，且受液板倾斜设置；驱动齿轮，与受液板相连以驱动受液板围绕喷液桩旋转；接液槽，围绕喷液桩设置并位于受液板的下方，接液槽的底部设有接液槽出液口；排液槽，位于接液槽的下方，排液槽的底部设有排液槽出液口。采用雾化喷淋的方式，既能避免传统浸没式显影方式造成显影液中的有效成分浓度逐渐降低进而影响显影质量的问题，又能避免传统喷淋方式水压对光刻胶的外力破坏问题，并且受液板倾斜设置，解决了传统喷淋方式中平面旋转造成远近圆心处会有明显的显影程度差异的问题。 |
