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一种晶圆夹取装置

基本信息

申请号 CN202020741792.9 申请日 -
公开（公告）号 CN211670187U 公开（公告）日 2020-10-13
申请公布号 CN211670187U 申请公布日 2020-10-13
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张强;沈杰;林擎宇 申请（专利权）人 四川科尔威光电科技有限公司
代理机构 成都慕川专利代理事务所（普通合伙） 代理人 四川科尔威光电科技有限公司
地址 610000四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆夹取装置，主要解决现有晶圆夹取装置无法满足多直径规格晶圆夹取的需求，导致夹取装置使用受限的问题。该夹取装置包括带有承载台的支撑底架，设置于支撑底架上左右两条滑槽，两端分别卡入滑槽并与滑槽滑动连接的夹持件安装板，设置于夹持件安装板上的可调节夹持件，以及夹持件调节装置；所述可调节夹持件包括一对夹持半环，设置于夹持件安装板上用于对夹持半环的夹持半径进行调节的调节组件，以及与夹持半环内侧连接的翻转环。通过上述设计，本实用新型能够方便、快捷地实现晶圆的夹取与晶圆的转移，并能够通过翻转机构快速实现对晶圆两面的处理。因此，适于推广应用。