一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置

基本信息

申请号	CN202020741206.0	申请日	-
公开（公告）号	CN211670172U	公开（公告）日	2020-10-13
申请公布号	CN211670172U	申请公布日	2020-10-13
分类号	H01J37/32(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	阳熊	申请（专利权）人	四川科尔威光电科技有限公司
代理机构	成都慕川专利代理事务所（普通合伙）	代理人	四川科尔威光电科技有限公司
地址	610000四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，主要解决现有半导体离子束刻蚀中，产品片承载装置散热效果不好，导致离子束刻蚀次品率高的问题。该承载装置包括托盘和运动小车，还包括设置于运动小车上的散热盘；所述托盘包括内部具有空腔的托盘本体，设置于托盘本体的空腔内并与托盘本体的顶板内侧固定连接的水循环管路，设置于托盘本体侧壁与水循环管路连通的冷却水进出接头，以及开设于托盘本体的底板上的滑槽与散热孔。本实用新型通过在运动小车上增设散热盘，利用导轨式散热片将托盘本体内积聚的热量引导至散热盘散出，同时利用冷却水循环的方式带走托盘上的热量，实现多方式、多重散热，避免产品片刻蚀时损坏，提高产品片的成品率。