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一种碳化硅晶圆贯穿型管道缺陷的检测方法及装置

基本信息

申请号 CN202110988095.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113758641A 公开（公告）日 2021-12-07
申请公布号 CN113758641A 申请公布日 2021-12-07
分类号 G01M3/04（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 赵华利;崔景光;闫兰;高彦静;赵焕君;李永超;吕敬文 申请（专利权）人 河北同光半导体股份有限公司
代理机构 北京连城创新知识产权代理有限公司 代理人 许莉
地址 071051河北省保定市北三环6001号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种碳化硅晶圆贯穿型管道缺陷的检测方法及装置，涉及碳化硅晶圆检测技术领域，其能够直观地观察到是否存在贯穿型管道，且检测时间短、检测人员不易产生疲劳，能够有效保证检测的一致性。本发明所述的碳化硅晶圆贯穿型管道缺陷的检测方法，包括以下步骤：通过采用真空装置，使被测晶圆两侧产生压力差；在此条件下，在晶圆的一侧喷涂酒精液体；通过观察晶圆的另一侧是否存在漏液情况，以判断晶圆是否存在贯穿型管道缺陷。