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一种集成式进气排气装置

基本信息

申请号 CN201811598550.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109509718A 公开（公告）日 2019-03-22
申请公布号 CN109509718A 申请公布日 2019-03-22
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 张爽;魏猛 申请（专利权）人 沈阳芯达科技有限公司
代理机构 沈阳优普达知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 孙奇
地址 110180 辽宁省沈阳市浑南区文溯街19-3号203-40室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种集成式进气排气装置，隔板安装于托板的阶梯面上，压板放置于托板的上表面，通过压环将压板压紧，并与托板固定；集成块固定于压板中心表面相对位置，隔板与压板间形成气体流动空间，为排气腔；隔板与托板间形成气体流动空间，为进气腔；集成块具有进气通道和排气通道，并且集成块的进气通道与进气腔相通，集成块的排气通道与排气腔相通；进气通道与排气通道互不相通；托板上设有排气槽，隔板上设有排气孔；集成块与压板接触的表面开有凹槽，用于安装上密封圈，保证集成块与压板间的紧密配合，无气体泄漏；托板与压板的接触面开有凹型槽，用于安装下密封圈，保证托板与压板间紧密配合，无气体泄漏；压环与托板通过手动旋钮固定。