一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线
基本信息
| 申请号 | CN201510103231.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104651792B | 公开（公告）日 | 2017-04-19 |
| 申请公布号 | CN104651792B | 申请公布日 | 2017-04-19 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱锡芳;杨辉;许清泉;陈功;徐安成 | 申请（专利权）人 | 常州常工院技术转移有限公司 |
| 代理机构 | 南京知识律师事务所 | 代理人 | 高桂珍 |
| 地址 | 213031 江苏省常州市新北区辽河路666号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线，属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室，开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室，收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室，放卷储料机构的前方设有热合机构，收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构；缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构，并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊，并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制，省去了中间换卷及抽真空的时间，大大提高了镀膜效率。 |
