三氯氢硅反应器

基本信息

申请号 CN201220067498.X 申请日 -
公开(公告)号 CN202643331U 公开(公告)日 2013-01-02
申请公布号 CN202643331U 申请公布日 2013-01-02
分类号 C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 李岩;张银顺;窦晓涛;雒永军 申请(专利权)人 兰州兰石四方容器设备有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 730050 甘肃省兰州市七里河区西津西路246号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供的三氯氢硅反应器,克服了现有技术存在的成本过高、易烧损失效,且生产效率低的缺点。它包括主壳体1,硅粉进料口2、进气口5,其中:所述的主壳体1为15CrMoR破钢材料;硅粉进料口2移位于顶部;主壳体1的外表面增设了水夹套结构3;增加了气体分布器4位于进气口5上方。水夹套结构3由夹套筒体7与内筒体6及接管8焊接密封形成。此种结构大幅降低了设备成本,提高了生产效率,保证了设备使用的安全,并延长了使用寿命。