三氯氢硅反应器
基本信息
申请号 | CN201220067498.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202643331U | 公开(公告)日 | 2013-01-02 |
申请公布号 | CN202643331U | 申请公布日 | 2013-01-02 |
分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 李岩;张银顺;窦晓涛;雒永军 | 申请(专利权)人 | 兰州兰石四方容器设备有限责任公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 730050 甘肃省兰州市七里河区西津西路246号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供的三氯氢硅反应器,克服了现有技术存在的成本过高、易烧损失效,且生产效率低的缺点。它包括主壳体1,硅粉进料口2、进气口5,其中:所述的主壳体1为15CrMoR破钢材料;硅粉进料口2移位于顶部;主壳体1的外表面增设了水夹套结构3;增加了气体分布器4位于进气口5上方。水夹套结构3由夹套筒体7与内筒体6及接管8焊接密封形成。此种结构大幅降低了设备成本,提高了生产效率,保证了设备使用的安全,并延长了使用寿命。 |
