铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法

基本信息

申请号	CN202011253772.8	申请日	-
公开（公告）号	CN113699581A	公开（公告）日	2021-11-26
申请公布号	CN113699581A	申请公布日	2021-11-26
分类号	C30B11/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	何亮;邹贵付;毛伟;雷琦;罗鸿志;何新根;李小平;李建敏;程小娟;陈仙辉;甘胜泉	申请（专利权）人	赛维LDK太阳能高科技（新余）有限公司
代理机构	南昌逸辰知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘晓敏
地址	338000江西省新余市高新技术产业园区
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法。包括炉体，所述炉体顶部设置有第一开口，所述第一开口中设置有进气装置；所述炉体内设置有隔热笼，所述隔热笼内设有热交换台，所述热交换台上设置有底板，所述底板设置在所述石英坩埚底部，所述底板与围设在所述石英坩埚外侧的护板相连，所述隔热笼内还设有侧边加热器，所述侧边加热器设置在所述护板外侧，所述护板上设置有盖板；所述炉体底部设有第二开口，所述第二开口内设置有旋转轴，所述旋转轴与所述热交换台相固定，所述旋转轴与所述炉体外的旋转驱动装置连接，其中，所述护板包含四块首尾相连的护板，所述四块护板都存在一边边缘设置有矩形缺口。采用铸锭单晶炉和该铸锭单晶硅的制备方法制备的铸锭单晶硅的杂质含量少，品质高。