铸锭炉、铸锭晶体硅及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110203351.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114045553A 公开(公告)日 2022-02-15
申请公布号 CN114045553A 申请公布日 2022-02-15
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 罗鸿志;何亮;张细根;李建敏;程小娟;邹贵付;张发年;饶森林;甘胜泉 申请(专利权)人 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司
代理机构 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘阳阳
地址 338000江西省新余市高新技术产业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种铸锭炉、铸锭晶体硅及其制备方法,铸锭炉包括炉体顶部,中部和底部,炉体内部为炉腔,炉腔内设有隔热笼,隔热笼内设有保温组件,保温组件由护板和底板形成一个容纳空间承载坩埚,保温组件还包括封盖在坩埚上的盖板,其中,炉体中部开设有第一排气口,第一排气管路适于与第一排气口连通,通往炉腔与隔热笼形成的第一空间内;炉体顶部或炉体底部开设有第二排气口,第二排气管路适于与第二排气口连通,通往炉腔与隔热笼形成的第二空间内;排气管路外部连接真空装置,第二排气管路与第一排气管路外部连通;第一排气管路上设有第一阀门,单独控制第一排气口的排气比例;第二排气管路上设有第二阀门,单独控制第二排气口的排气比例。