一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构
基本信息
| 申请号 | CN202120439531.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214311293U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214311293U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G03F7/38（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 吴想;周加宏;戴文海 | 申请（专利权）人 | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 南昌合达信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈龙 |
| 地址 | 334000江西省上饶市上饶经济技术开发区光电创谷路9号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其包括内部挖空的圆盘式冷板本体；呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体底部的制冷片；固定设于所述冷板本体底部的用于控制制冷片通电的开关；呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体上的硅片定位凸块；用于检测感应所述冷板本体温度的温感探头，所述温感探头经温感压块固定设于所述冷板本体的底部，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，且不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。 |
