一种光刻胶吸取装置
基本信息
| 申请号 | CN202023213697.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214029987U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214029987U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B65D47/06（2006.01）I;B65D51/16（2006.01）I;G03F7/16（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 吴想;马建;戴文海 | 申请（专利权）人 | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 南昌合达信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈龙 |
| 地址 | 334000江西省上饶市上饶经济技术开发区光电创谷路9号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体匀胶设备技术领域，尤其涉及一种光刻胶吸取装置，其包括外盖、内芯和连接管，外盖上设有安装通孔，外盖内设有连接螺纹，内芯上设有进气口、入管孔和凸台，进气口上固定设有进气接头，连接管一端的出胶口上设有弯头接口，连接管的另一端经入管孔穿过内芯，内芯经凸台卡接于外盖并从安装通孔中伸出，内芯上还设有第一、二限位凹槽，第一、二限位凹槽上分别套设有第一、二密封圈，凸台上设有用于防止泄露的密封垫片，其组装方便、效率高，使用寿命长，所需成本低，不存在安全隐患，密封性强，便于保存光刻胶，能满足市场需求。 |
