一种光刻机用晶圆片匀胶装置
基本信息
| 申请号 | CN201810534084.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108646517A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN108646517A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | G03F7/16 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 侯玉闯;薛鹏 | 申请（专利权）人 | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210008 江苏省南京市汉口路22号南京大学 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶圆片光刻技术领域，尤其涉及一种光刻机用晶圆片匀胶装置,所述匀胶装置包括固定框、基座、水平调节装置、固定支架、旋转装置、真空吸盘、真空发生器、可调节弹簧和感应装置；所述基座位于固定框上部；所述水平调节装置固定在固定框内；所述固定支架安装在基座上方；所述旋转装置安装在固定支架上；所属真空吸盘位于旋转装置上方；所述真空发生器位于真空吸盘右下方，真空发生器与真空吸盘相连通；所述可调节弹簧数量为三，可调节弹簧之间呈120°分布，可调节弹簧位于基座与固定框之间；所述感应装置位于固定框上方；本装置可以有效保证晶圆片水平固定在真空吸盘上，从而保证晶圆片表面涂覆胶的厚度均匀。 |
