一种硅片真空传送机械手臂
基本信息
| 申请号 | CN202120462477.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214378375U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214378375U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴想;戴文海 | 申请（专利权）人 | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 南昌合达信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈龙 |
| 地址 | 334000江西省上饶市上饶经济技术开发区光电创谷路9号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，尤其涉及一种硅片真空传送机械手臂，其包括手臂本体，多个均匀固定设于手臂本体上用于硅片限位的限位块，手臂本体上设有第一吸气口，手臂本体上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构，手臂本体的底部设有第一凹槽，第一凹槽内设有第二凹槽，第一凹槽上固定设有贴片，贴片和第二凹槽构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于第一吸气口，其另一端分别设有第二吸气口和第三吸气口，真空吸附机构分别与设于手臂本体的第二吸气口和第三吸气口相对应，其不仅结构简单，所需成本低，且能保证硅片安全，提高工作效率，可以满足市场需求。 |
