一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置
基本信息
| 申请号 | CN202120476142.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214311294U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214311294U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G03F7/38（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 吴想;戴文海 | 申请（专利权）人 | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 南昌合达信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈龙 |
| 地址 | 334000江西省上饶市上饶经济技术开发区光电创谷路9号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其包括第一散热块和第二散热块，第一散热块和第二散热块之间固定设有第三散热块，第一散热块、第二散热块和第三散热块的内部分别设有用于散热通水的过水槽，第一散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一进水接口，第二散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一出水接口，第一散热块内的过水槽和第二散热块内的过水槽之间还设有用于连通的连接管，第三散热块的两侧分别设有与其内过水槽连通的第二进水接口和第二出水接口，其不仅结构简单，所需成本低，且降温效果好，恒温性优，操作性强，可以满足市场需求。 |
