一种高效整流器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910712156.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110534584A | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN110534584A | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | H01L29/872;H01L21/329 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈文锁;徐向涛;张成方;廖瑞金 | 申请（专利权）人 | 重庆平伟伏特集成电路封测应用产业研究院有限公司 |
| 代理机构 | 重庆大学专利中心 | 代理人 | 重庆大学;重庆平伟伏特集成电路封测应用产业研究院有限公司 |
| 地址 | 400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高效整流器及其制造方法，高效整流器包括下电极层、重掺杂第一导电类型衬底层、第一导电类型漂移层、沟槽栅介质区、沟槽栅填充区、肖特基势垒接触区、隔离介质区和上电极层。制造方法步骤为：1)准备重掺杂第一导电类型衬底层；2)形成第一导电类型漂移层；3)在第一导电类型漂移层表面刻蚀出槽型；4)形成沟槽栅介质区；5)形成沟槽栅填充区；6)形成隔离介质区；7)形成肖特基势垒接触区；8)形成上电极层；9)形成下电极层。本发明在不增加制造工艺步骤和制造成本的基础上获得反向恢复时间短，开关损耗小的性能。 |
