一种高灵敏度的振动传感器
基本信息
| 申请号 | CN202010027154.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111337119B | 公开（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申请公布号 | CN111337119B | 申请公布日 | 2020-06-26 |
| 分类号 | G01H11/08(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙成亮;胡博豪;吴志鹏;王磊;林炳辉;朱伟;占惠花 | 申请（专利权）人 | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人 | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 地址 | 430076湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高灵敏度的振动传感器，包括具有空腔的衬底和多个压电悬臂梁，空腔的底面中心设置有固定柱，多个悬臂梁围成信号接收区域，通过固定柱固定在衬底上方；压电悬臂梁包括固定端和自由端，自由端的宽度大于固定端，固定端固定在固定柱上，自由端悬置于空腔上方，且相邻的压电悬臂梁之间设置有间隙；该传感器还包括带有凹槽的封帽，封帽的槽沿与压电悬臂梁的自由端相连接。凹槽的截面可为任意形状，优选底面与侧壁夹角大于90°的梯形。本发明通过封帽将振动信号产生载荷集中在压电悬臂梁自由端，会使压电悬臂梁受到的弯矩更大，压电悬臂梁的挠曲程度更大，且夹角大于90°时能够产生较大的横向载荷，有效提高振动传感器的灵敏度。 |
