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一种适用于硅片的氮气清洁设备

基本信息

申请号 CN201711102152.2 申请日 -
公开（公告）号 CN108091549A 公开（公告）日 2018-05-29
申请公布号 CN108091549A 申请公布日 2018-05-29
分类号 H01L21/02;H01L21/67;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 沈美玲;林子杰;彭振维;林建豪;王洋洋 申请（专利权）人 盐城金合盛光电科技有限公司
代理机构 南京汇恒知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 盐城金合盛光电科技有限公司
地址 224700 江苏省盐城市建湖县开发区北京88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种适用于硅片的氮气清洁设备，包括：氮气发生器和载具，载具包括：载台和安装于载台上表面的用于承载硅片的若干个载片，载台上表面倾斜且其顶端设置有与氮气发生器连通的出风口，硅片放置于载片上且与载台上表面平行，出风口的风向与竖直方向的夹角A小于硅片所在方向与竖直方向的夹角B。这样一来，在出风的风力作用及液体本身的重力作用下，液体会顺着硅片向下流至载台上；而且，出风相较于硅片向下倾斜，避免将硅片吹起或吹跑。有益之处在于：本发明的氮气清洁设备适用于对硅片进行表面清洁，去除残留清洗液和颗粒污染物，具有清洁速度快、效率高、不易有残留且不易碎片等诸多优点。