负热膨胀系数材料在镀膜载盘中的应用及负热膨胀型载盘
基本信息
| 申请号 | CN201710270209.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107190244A | 公开（公告）日 | 2017-09-22 |
| 申请公布号 | CN107190244A | 申请公布日 | 2017-09-22 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 彭振维;林建豪;王洋洋;沈美玲 | 申请（专利权）人 | 盐城金合盛光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京汇恒知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 盐城金合盛光电科技有限公司 |
| 地址 | 224700 江苏省盐城市建湖县经济开发区北京路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明首先公开了负热膨胀系数材料在镀膜载盘上的应用，以及局部或全部由负热膨胀系数材料制成的负热膨胀型载盘，鉴于负热膨胀系数材料的特殊性能，制成的负热膨胀型载盘应用在PECVD或PVD镀膜机上进行镀膜时，在高温制程下能够有效减少对硅片的遮蔽面积，从而提升太阳能电池的效率和良率。 |
