提升检测精度的电路测试装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202110772693.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113504457A | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN113504457A | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R31/30（2006.01）I;G01R1/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 成杨;王一鹏;张树晓 | 申请（专利权）人 | 中颖电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 胡林岭 |
| 地址 | 200335上海市长宁区金钟路767弄3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了提升检测精度的电路测试装置和方法。晶圆测试接口通过一控制信号来控制测试模式控制逻辑模块；测试模式控制逻辑模块根据控制信号控制切换模块选择将基准信号还是检测模块的输出传送到检测输出端；在初始晶圆测试时，切换模块选择将基准信号传到检测输出端进行测试；若基准信号与零温度点基准信号有误差，则对基准信号进行档位调节，直至调节为零温度点基准信号，随后控制切换模块选择将检测模块的输出与检测输出端连接；检测模块将待测信号与经档位调节后所得到的零温度点基准信号进行比较，测得检测阈值的初始值；其中，对所述基准信号的档位调节以及对所述检测阈值的初始值的修调通过单次烧写熔丝同时实现。 |
