MEMS扬声器及MEMS扬声器制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110758271.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113365196A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113365196A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H04R17/00（2006.01）I;H04R19/00（2006.01）I;H04R19/02（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 程诗阳;周一苇;但强;李杨 | 申请（专利权）人 | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 万鹏 |
| 地址 | 430200湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种MEMS扬声器，包括围成空腔的基底侧壁，基底侧壁包括相对设置的第一表面和第二表面，设置于所述基底侧壁的第一表面并且密闭所述空腔在所述第一表面的开口的发声组件以及设置于所述空腔内的支架，发声组件包括第一发声组件和第二发声组件，每个发声组件包括驱动部和柔性振膜，驱动部的固定端固定于支架，柔性振膜密闭相邻的驱动部的自由端之间形成的以及驱动部的自由端与基底侧壁之间形成的缝隙。本发明还提供了一种MEMS扬声器的制造方法。本发明提供的MEMS扬声器具有优质的声学性能。 |
