一种大尺寸基板蒸镀装置及利用该蒸镀装置制备CdTe太阳能镀膜的方法
基本信息
| 申请号 | CN201811446184.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109402573B | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN109402573B | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋寰欣;黄信二 | 申请（专利权）人 | 研创应用材料（赣州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 南昌金轩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 文珊 |
| 地址 | 341000江西省赣州市经济技术开发区香港工业园北区标准厂房6栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种大尺寸基板蒸镀装置以及利用该蒸镀装置制备CdTe太阳能镀膜的方法，该蒸镀装置包括蒸镀箱体，所述蒸镀箱体内固定有热屏蔽装置，所述蒸镀箱体的内顶壁上固定有镀膜基板，所述热屏蔽装置内固定有夹层盒本体和上坩埚，所述热屏蔽装置的四周开设有循环的一号蒸汽流道，所述夹层盒本体内开设有二号蒸汽流道，所述夹层盒本体的底壁上固定有加热器，所述上坩埚的下方固定有加热器，所述蒸镀箱体的正下方设置有下坩埚，所述下坩埚的正下方固定有加热器，本蒸镀装置可以应用于CdTe太阳能镀膜、以及其他各式二元或多元化合物材料膜层的镀膜制备中，不仅可以精准控制镀膜的成份组成，而且可以提高镀膜的均匀性。 |
