一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811488519.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109536899A | 公开（公告）日 | 2019-03-29 |
| 申请公布号 | CN109536899A | 申请公布日 | 2019-03-29 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I; B22F3/14（2006.01）I; C22C14/00（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; C23C14/16（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I; C23C14/08（2006.01）I; H01L31/0224（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王家和; 黄信二 | 申请（专利权）人 | 研创应用材料（赣州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 南昌赣专知识产权代理有限公司 | 代理人 | 文珊 |
| 地址 | 341000 江西省赣州市经济技术开发区香港工业园北区标准厂房6栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法，制备该镀膜的钛合金复合靶材包括钛钠复合靶材和钛钾复合靶材中的至少一种，所述钛钠复合靶材和钛钾复合靶材分别为钛粉末与钛钠氧化物粉末、钛粉末与钛钾氧化物粉末通过热压成型工艺制成。在制得钛钠复合靶材和钛钾复合靶材基础上，分别以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料，或者同时以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料通过真空溅镀的方式制得复合靶材镀膜，本发明的钛合金靶材制程温度相对较低，且材料化性及物性较稳定，原料相对便宜，既降低了靶材生产成本，又提高了靶材的产率，应用于CIGS薄膜太阳能电池组件中可以显著提高CIGS薄膜太阳能电池的光电转换效率。 |
