一种CIGS下电极用铝合金复合靶材及CIGS薄膜太阳能电池的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810935213.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110835724A | 公开（公告）日 | 2020-02-25 |
| 申请公布号 | CN110835724A | 申请公布日 | 2020-02-25 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34;H01L31/0224;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王家和;黄信二 | 申请（专利权）人 | 研创应用材料（赣州）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 341000 江西省赣州市经济技术开发区香港工业园北区标准厂房6栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种CIGS下电极用铝合金复合靶材及CIGS薄膜太阳能电池的制备方法，采用低成本的热压方式来制造此靶材，设备成本较低，由于材料温度较低且延展性较佳,同一批次可以多片同时热压，提高靶材的产率。本发明的铝合金复合靶材应用于CIGS电池的下电极膜层镀膜，由于原料成本较低且度率高，因此能降低溅镀膜层成本。随着靶材中钠钾含量的提高，在后制程中能提供较多的Na/K元素扩散至CIGS吸收层，提高载流子浓度及能填补缺陷提高组件开路电压，有利于转换效率的提高。在相同的效率要求下，也可以降低膜层的厚度，有利于提高设备的产率，降低设备成本并满足了大规模量产的要求。 |
