一种集成电路板清洗设备及其清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201910980070.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110690147A | 公开（公告）日 | 2020-01-14 |
| 申请公布号 | CN110690147A | 申请公布日 | 2020-01-14 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曹祚;曹恒 | 申请（专利权）人 | 政江科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 济南圣达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张庆骞 |
| 地址 | 255499 山东省淄博市临淄区晏婴路189号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种集成电路板清洗设备及其清洗方法。其中，一种集成电路板清洗设备包括清洗腔，所述清洗腔的顶部设置有密封盖，所述清洗腔内设置有载盘相连，载盘用于承载待清洗的集成电路板；清洗腔一端与臭氧水输入管相连，另一端与臭氧水输出管相连；所述臭氧水输入管与第一臭氧水容器相连，第一臭氧水容器内设有第一泵，臭氧水输入管还用于对由第一臭氧水容器传输至清洗腔的臭氧水进行加热；所述臭氧水输出管与第二臭氧水容器相连，所述第二臭氧水容器用于接收清洗集成电路板后的臭氧水；臭氧水输入管和臭氧输出管上分别对应设置第一阀门和第二阀门。 |
