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薄膜处理系统和方法

基本信息

申请号 CN202010485986.1 申请日 -
公开（公告）号 CN113766735A 公开（公告）日 2021-12-07
申请公布号 CN113766735A 申请公布日 2021-12-07
分类号 H05K3/00（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 周小红;基亮亮;刘麟跃 申请（专利权）人 维业达科技（江苏）有限公司
代理机构 苏州简理知识产权代理有限公司 代理人 朱亦倩
地址 215123江苏省苏州市工业园区新昌路68号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种薄膜处理系统，其包括：第一上胶装置，其被配置的在薄膜带的第一表面上形成第一胶层；形成第一胶层后的薄膜带经由第一主动辊被驱动的向前传送，第一主动辊辊面压印在第一胶层上形成重复排布的第一图案，第一图案包括第一对位标识；第二上胶装置在来自第一主动辊方向的薄膜带的第二表面上形成第二胶层；形成第二胶层后的薄膜带经由第二主动辊被驱动的向前传送，第二主动辊辊面压印在第二胶层上形成重复排布的第二图案，第二图案包括第二对位标识；对位检测装置，其检测第一对位标识和第二对位标识的对位偏差；控制器基于对位检测装置得到的对位偏差调控第一主动辊和第二主动辊的转速，进而使得对位偏差收敛于预定偏差阈值范围。