一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法
基本信息
| 申请号 | CN201911072269.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110983268A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110983268A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/18;H01F41/16 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张晓慧;周子尧;胡忠强;李春雷 | 申请（专利权）人 | 西安科汇电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 姚咏华 |
| 地址 | 710075 陕西省西安市高新区高新二路12号协同大厦后楼5层1505 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法，包括：1)将选定基底进行预处理后，在其上采用直流磁控溅射法在真空度条件下，以不同功率依次沉积适宜被咪唑类离子液体调控的金属薄膜；2)，通过对浸润金属薄膜的咪唑类离子液体施加步长相同的循环电压，确认未发生化学反应的电压范围；3)在氮气保护条件下，通过改变离子液体两端电压调控金属薄膜磁性。发明降低了调控电压与电流，节约能源，减轻了设备腐蚀且易于操作，同时调控量大，对环境无污染。 |
