一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法

基本信息

申请号 CN201811251481.8 申请日 -
公开(公告)号 CN109536925A 公开(公告)日 2019-03-29
申请公布号 CN109536925A 申请公布日 2019-03-29
分类号 C23C16/455(2006.01)I; C23C16/40(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 刘明; 张乐; 张晓慧; 周子尧; 关蒙萌 申请(专利权)人 西安科汇电子科技有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 姚咏华
地址 710075 陕西省西安市高新区高新二路12号协同大厦后楼5层1505
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法,该方法采用原子层沉积法,以二乙基锌为锌源,以蒸馏水为氧源,在柔性丝素纳米纤维表面沉积氧化锌纳米管,通过将二乙基锌与蒸馏水交替通入原子层沉积系统的反应腔内,实现了氧化锌在柔性纳米纤维上的沉积。本方法制得的氧化锌/柔性纳米纤维衬底具有成本低,薄膜成分和厚度精确可控,三维均匀保型性好等优点,同时提高了氧化锌的光催化性能。