一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法
基本信息
| 申请号 | CN201811251481.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109536925A | 公开（公告）日 | 2019-03-29 |
| 申请公布号 | CN109536925A | 申请公布日 | 2019-03-29 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I; C23C16/40（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘明; 张乐; 张晓慧; 周子尧; 关蒙萌 | 申请（专利权）人 | 西安科汇电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 姚咏华 |
| 地址 | 710075 陕西省西安市高新区高新二路12号协同大厦后楼5层1505 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，该方法采用原子层沉积法，以二乙基锌为锌源，以蒸馏水为氧源，在柔性丝素纳米纤维表面沉积氧化锌纳米管，通过将二乙基锌与蒸馏水交替通入原子层沉积系统的反应腔内，实现了氧化锌在柔性纳米纤维上的沉积。本方法制得的氧化锌/柔性纳米纤维衬底具有成本低，薄膜成分和厚度精确可控，三维均匀保型性好等优点，同时提高了氧化锌的光催化性能。 |
