一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法
基本信息
申请号 | CN201811251481.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109536925A | 公开(公告)日 | 2019-03-29 |
申请公布号 | CN109536925A | 申请公布日 | 2019-03-29 |
分类号 | C23C16/455(2006.01)I; C23C16/40(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 刘明; 张乐; 张晓慧; 周子尧; 关蒙萌 | 申请(专利权)人 | 西安科汇电子科技有限公司 |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 姚咏华 |
地址 | 710075 陕西省西安市高新区高新二路12号协同大厦后楼5层1505 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法,该方法采用原子层沉积法,以二乙基锌为锌源,以蒸馏水为氧源,在柔性丝素纳米纤维表面沉积氧化锌纳米管,通过将二乙基锌与蒸馏水交替通入原子层沉积系统的反应腔内,实现了氧化锌在柔性纳米纤维上的沉积。本方法制得的氧化锌/柔性纳米纤维衬底具有成本低,薄膜成分和厚度精确可控,三维均匀保型性好等优点,同时提高了氧化锌的光催化性能。 |
