一种采用双支路设计的罐体吹扫及检测系统
基本信息
申请号 | CN202021136198.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212657589U | 公开(公告)日 | 2021-03-05 |
申请公布号 | CN212657589U | 申请公布日 | 2021-03-05 |
分类号 | F17D1/04(2006.01)I;G01N15/06(2006.01)I;G01N33/00(2006.01)I;B08B9/093(2006.01)I;F17D3/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 柳光植;沈琦 | 申请(专利权)人 | 江苏先科半导体新材料有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 张超 |
地址 | 214203江苏省无锡市宜兴经济技术开发区荆溪北路 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种采用双支路设计的罐体吹扫及检测系统,包括气体输送主干路,气体输送主干路上有过滤系统,沿气体输送方向的过滤系统的后方设有单向阀,单向阀的后方设有多个与气体输送主干路连接的吹扫及检测系统,每两套吹扫及检测系统共用同一套颗粒计数器及水分仪,每套吹扫及检测系统包括自气体输送主干路延伸出的第一支路,第一支路的出口分为第二支路和第三支路,第二支路和第三支路的出口汇聚在第四支路的进口,第四支路通过颗粒过滤器和电磁阀再和罐体的进口连接,罐体的出口连接颗粒计数器及水分仪。采用本实用新型的设计方案,能够采用两条支路在电磁阀的配合下分别对罐体进行不同方式的吹扫,提高罐体的清洁程度。 |
