一种能够进行系统自检的吹扫及检测系统
基本信息
申请号 | CN202021135289.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212617641U | 公开(公告)日 | 2021-02-26 |
申请公布号 | CN212617641U | 申请公布日 | 2021-02-26 |
分类号 | F17D3/01(2006.01)I;F17D1/04(2006.01)I;B08B9/093(2006.01)I;G01N15/06(2006.01)I;G01N33/00(2006.01)I;F17D3/14(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 柳光植;沈琦 | 申请(专利权)人 | 江苏先科半导体新材料有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 张超 |
地址 | 214203江苏省无锡市宜兴经济技术开发区荆溪北路 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种能够进行系统自检的吹扫及检测系统,包括气体输送主干路,气体输送主干路上有过滤系统,沿气体输送方向的过滤系统的后方设有单向阀,单向阀的后方设有多个与气体输送主干路连接的吹扫及检测系统,每两套吹扫及检测系统共用同一套颗粒计数器及水分仪,每套吹扫及检测系统包括自气体输送主干路延伸出的第一支路,第一支路上沿气体的输送方向依次设置用于调压的压力调控阀、流量计、第二截止阀、第三截止阀、颗粒过滤器和电磁阀,第一支路末端和罐体的进口连接,罐体的出口连接颗粒计数器及水分仪。本发明还公开了此种系统的工作方法。采用本发明的设计方案,能够对用于储备危险化学品的罐体进行吹扫和检测。 |
