提取介质材料的特性结构及其提取方法
基本信息
| 申请号 | CN202111484310.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114167145A | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN114167145A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | G01R27/26（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 隋磊;卢煜旻;朱欣恩 | 申请（专利权）人 | 上海矽杰微电子有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 程开生 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区叶城路1288号6幢J461室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了提取介质材料的特性结构及其提取方法，提取介质材料的特性结构的提取方法，通过提取介质材料的特性结构来提取介质材料的绝对介电常数和损耗角正切，包括步骤S1：在顶层设有U型槽结构，以使得能量通过U型槽结构输入谐振器，从而在谐振器中产生谐振，以通过测量整个结构的反射系数获得谐振频率和品质因数。本发明公开的提取介质材料的特性结构及其提取方法，其通过谐振器来提取介质材料的绝对介电常数以及损耗角正切。 |
