一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN02159702.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN100343413C | 公开（公告）日 | 2007-10-17 |
| 申请公布号 | CN100343413C | 申请公布日 | 2007-10-17 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01);F24J2/48(2006.01) | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 高汉三;江希年;葛洪川 | 申请（专利权）人 | 北京欧科能太阳能技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 地址 | 100083北京市海滨区学院路30号科技大学会议中心1202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，该涂层由基底层Cu镜面反射膜、中间层AlNxOy干涉吸收膜和表面层AlNxOyCz减反膜三层结构组成，具有可见-近红处光谱高吸收率、红外光谱极低发射率和真空烘烤热稳定性，适用于中温(100-300℃)工作温度真空使用环境的全玻璃真空管和热管式真空管等应用领域，使该类太阳能真空集热管具有更低热损、更高热效率的优异特性，该涂层的制备采用三靶直流磁控溅射，镀膜反应气体由氮、氧、甲烷、乙炔等调控，溅射工况稳定，重复性好，适于全玻璃真空管和热管式真空管等生产性制备。 |
