一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构
基本信息
申请号 | CN201210074340.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103305901B | 公开(公告)日 | 2016-10-05 |
申请公布号 | CN103305901B | 申请公布日 | 2016-10-05 |
分类号 | C30B11/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 刘朝轩;王晨光 | 申请(专利权)人 | 鑫融基投资担保有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 471009 河南省洛阳市国家高新技术开发区金鑫路2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构,涉及一种晶体材料的生长设备,包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19),在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19),所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20);管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内;本发明通过在下轴的外部或内部添加附加管,由附加管形成对坩埚下部空间的低温影响得到减小,有效地使热能散失问题得到控制,实现了热能温度的最大化利用的目的。 |
