MPS二极管器件

基本信息

申请号 CN201822268708.1 申请日 -
公开(公告)号 CN209766432U 公开(公告)日 2019-12-10
申请公布号 CN209766432U 申请公布日 2019-12-10
分类号 H01L29/861(2006.01); H01L29/06(2006.01); H01L21/329(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 卓廷厚; 李钊君; 刘延聪 申请(专利权)人 厦门芯光润泽科技有限公司
代理机构 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 厦门芯光润泽科技有限公司
地址 361000 福建省厦门市火炬高新区火炬园火炬路56-58号火炬广场南楼203-76
法律状态 -

摘要

摘要 一种MPS二极管器件。所述MPS二极管器件自下而上包括阴极电极、N+碳化硅衬底、N‑外延层和阳极电极;所述N‑外延层具有至少两个P+区;相邻两个所述P+区之间具有N‑补偿掺杂区,所述N‑补偿掺杂区的深度大于所述P+区的深度,所述N‑补偿掺杂区的掺杂浓度高于所述N‑外延层的掺杂浓度;所述阳极电极包括第一金属和第二金属,所述P+区表面与所述第一金属之间为欧姆接触,所述N‑补偿掺杂区表面与所述第二金属之间肖特基为接触。所述MPS二极管能够改善器件导通特性,促使器件的正向压降降低。